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蘇州佐藤精密儀器有限公司
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第五代飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 是終極的集成化成像分析系統(tǒng)，分辨率提升 20%，進(jìn)一步增加應(yīng)用范圍，更加適用于對(duì)電子束敏感的樣品。借助該系統(tǒng)，既可觀察樣品的表面形貌，又可分析其元素組分。
研究樣品時(shí)，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問(wèn)題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設(shè)計(jì)的能譜探測(cè)器，飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 可以完善解決上述所有問(wèn)題。
能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無(wú)論軟件、硬件都是完全集成設(shè)計(jì)在飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 系統(tǒng)中。
Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)分析，檢測(cè)樣品的元素組分。此外，該軟件還可以擴(kuò)展到元素分析線面掃（mapping）功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。
Phenom Pro
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Phenom ProX
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Phenom XL
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| 光學(xué)放大 |
20 - 135 X |
20 - 135 X |
3 - 16 X |
| 電子光學(xué)放大 |
80 - 150,000 X |
80 - 150,000 X |
80 - 100,000 X |
| 分辨率 |
優(yōu)于 8 nm |
優(yōu)于 8 nm |
優(yōu)于 14 nm |
| 數(shù)字放大 |
Max. 12 X |
Max. 12 X |
Max. 12 X |
| 光學(xué)導(dǎo)航相機(jī) |
彩色 |
彩色 |
彩色 |
| 加速電壓 |
5 kV - 15 kV 連續(xù)可調(diào) |
5 kV - 15 kV 連續(xù)可調(diào) |
5 kV - 20 kV 連續(xù)可調(diào) |
| 真空模式 |
高分辨率模式 降低荷電效應(yīng)模式 |
高分辨率模式 降低荷電效應(yīng)模式 |
高分辨率模式 降低荷電效應(yīng)模式 高真空模式 |
| 探測(cè)器 |
背散射電子探測(cè)器 二次電子探測(cè)器 (選配) |
背散射電子探測(cè)器 二次電子探測(cè)器 (選配) |
背散射電子探測(cè)器 二次電子探測(cè)器 (選配) |