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蘇州佐藤精密儀器有限公司
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高速分析熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
技術(shù)參數(shù)：
1.分辨率：1.2nm(30kV)/3.0nm(1kV)
2.加速電壓：0.2KV-30kV
3.放大倍數(shù)：10-100萬倍
4.大束流高分辨5nA，WD10mm,15kV時(shí)分辨率3.0nm
5.束流強(qiáng)度：1pA到200nA(15KV)
主要特點(diǎn)：
1.浸沒式熱場(chǎng)發(fā)射電子槍，束流強(qiáng)度******200nA（15KV)
2.無漏磁物鏡設(shè)計(jì)，便于磁性樣品觀測(cè)和EBSP觀測(cè)不變形
3.自動(dòng)光闌角控制器,無需調(diào)整光闌
4.全自動(dòng)控制聚焦、合軸、消像散、控制掃描速度
5.適于配合多種分析性探頭